摘要：

12月5日，成都旭光電子股份有限公司的孫公司寧夏北瓷新材料科技有限公司收到中華人民共和國科學(xué)技術(shù)部下發(fā)的國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題任務(wù)書，任務(wù)書基本內(nèi)容如下：

課題名稱：氮化鋁陶瓷組分設(shè)計(jì)及大尺寸輔熱型靜電吸盤制造和應(yīng)用

所屬項(xiàng)目：半導(dǎo)體用高超精密晶舟及靜電吸盤研制與應(yīng)用

所屬專項(xiàng)：先進(jìn)結(jié)構(gòu)與復(fù)合材料

項(xiàng)目牽頭承擔(dān)單位：中材高新氮化物陶瓷有限公司

課題承擔(dān)單位: 寧夏北瓷新材料科技有限公司

課題負(fù)責(zé)人：陳軍平

執(zhí)行期限：2023 年 11 月至 2026 年 10 月

課題簡介：針對我國半導(dǎo)體行業(yè)對高精度靜電吸盤國產(chǎn)化的迫切需求，系統(tǒng)地開展12英寸晶圓用大尺寸輔熱型氮化鋁靜電吸盤結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、陶瓷材料熱學(xué)和電學(xué)性能協(xié)同調(diào)控、輔熱型靜電吸盤制造技術(shù)、靜電吸盤性能測試表征技術(shù)等多面的研究，突破靜電吸盤仿真結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、熱導(dǎo)率和電阻率可調(diào)的組分設(shè)計(jì)、電介質(zhì)層和加熱層共燒致密化，溫度和吸附力均勻性測試等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高溫度均勻性和高吸附均勻性氮化鋁靜電吸盤樣件的制備，并且完成在半導(dǎo)體制程模擬裝置中的示范應(yīng)用，建立中試生產(chǎn)線，為國產(chǎn)化高性能氮化鋁靜電吸盤的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用和發(fā)展奠定基礎(chǔ)。

靜電吸盤介紹

靜電吸盤是一種適用于真空環(huán)境或等離子體環(huán)境的超潔凈晶圓片承載體，它利用靜電吸附原理將晶圓片加以固定并進(jìn)行控溫，廣泛應(yīng)用于PVD、PECVD、刻蝕、離子注入等高端半導(dǎo)體制造設(shè)備中。靜電吸盤主要是以氧化鋁陶瓷或氮化鋁陶瓷作為主體材料，隨著新一代半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，低溫刻蝕與沉積等工藝通常需要晶圓達(dá)到更低的溫度，因此對靜電卡盤的散熱性能就提出了更高的要求。而Al2O3材料熱導(dǎo)率及相關(guān)機(jī)械性能均不及AlN陶瓷，因此AlN陶瓷替代Al2O3陶瓷作為靜電吸盤的制造材料成為趨勢。全球靜電吸盤市場具有高度壟斷性，主要被日美廠商主導(dǎo)。目前我國靜電吸盤的自主水平及國產(chǎn)化率，與其它半導(dǎo)體零部件、關(guān)鍵原材料的處境一致，極易被“卡脖子”。

寧夏北瓷具備全產(chǎn)業(yè)鏈商用氮化鋁粉體—基板—結(jié)構(gòu)件—HTCC與高端功能器件產(chǎn)品量產(chǎn)的能力，其生產(chǎn)出的許多不再依賴進(jìn)口的產(chǎn)品，比如氮化鋁粉體、高端封裝基板、超高熱導(dǎo)率陶瓷基板、高精密氮化鋁功能器件、芯片封裝管殼等。有多項(xiàng)產(chǎn)品被成功用在了芯片加工的CVD與ETCH等設(shè)備，為我國的芯片制造產(chǎn)業(yè)中的關(guān)鍵材料自主化作出了貢獻(xiàn)。

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1.旭光孫公司收到國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題任務(wù)書