概要：由中科院硅酸鹽所、微系統(tǒng)所及滬硅管理運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì)組成，滬硅管理運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì)是以上海交大背景，有世界五百?gòu)?qiáng)及美國(guó)半導(dǎo)體裝備研發(fā)機(jī)及械制造經(jīng)驗(yàn)的精英團(tuán)隊(duì)。滬硅科技與中微及國(guó)內(nèi)光刻機(jī)主流廠商保持緊密合作，致力于填補(bǔ)國(guó)內(nèi)耐等離子體侵蝕陶瓷方面產(chǎn)業(yè)空白。

企業(yè)信息：

企業(yè)名稱：滬硅精密陶瓷科技（蘇州）有限公司

統(tǒng)一社會(huì)信用代碼：91320585MAC4K13N1T

網(wǎng)址：http://www.holdgreat.cn/

注冊(cè)資本：1,000萬(wàn)(元)

成立日期：2022-12-06

所屬省市：江蘇省蘇州市

主營(yíng)：半導(dǎo)體行業(yè)用高純氧化鋁陶瓷和氧化釔粉體等產(chǎn)品。

產(chǎn)品關(guān)鍵詞：超高純度氧化鋁，高純氧化鋁陶瓷，抗等離子體侵蝕，噴涂用氧化釔粉末

產(chǎn)品成分關(guān)鍵詞：氧化鋁、氧化釔

 

注：以下內(nèi)容信息來(lái)源：http://www.holdgreat.cn/

公司介紹：

滬硅精密陶瓷科技團(tuán)隊(duì)由中科院硅酸鹽所、微系統(tǒng)所及滬硅管理運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì)組成，滬硅管理運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì)是以上海交大背景，有世界五百?gòu)?qiáng)及美國(guó)半導(dǎo)體裝備研發(fā)機(jī)及械制造經(jīng)驗(yàn)的精英團(tuán)隊(duì)。滬硅精密陶瓷科技團(tuán)隊(duì)掌握特種陶瓷粉體配方、制備工藝、核心裝備制造、精密機(jī)械加工等跨專業(yè)的核心技術(shù)能力。滬硅科技致力于面向半導(dǎo)體裝備，尤其是涉及特殊工作條件的核心裝備（如刻蝕機(jī)、CVD薄膜沉積）的精密陶瓷零部件的研究和生產(chǎn)，金屬材料機(jī)械加工，以及面向裝備企業(yè)的定制化服務(wù)，為客戶提供全面的解決方案。滬硅科技與中微及國(guó)內(nèi)光刻機(jī)主流廠商保持緊密合作，致力于填補(bǔ)國(guó)內(nèi)耐等離子體侵蝕陶瓷方面產(chǎn)業(yè)空白 ，提高半導(dǎo)體裝備國(guó)內(nèi)大循環(huán)的自主可性 ，為客戶提供高品質(zhì)、高效率、高附加值的產(chǎn)品和服務(wù)。

99.99% 超高純度氧化鋁陶瓷，由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)高度化，全世界對(duì)在極限(高功率/高溫)環(huán)境中可長(zhǎng)期使用的半導(dǎo)體設(shè)備及零部件用陶瓷原材料需求暴增。99.99%超高純度Al2O3 陶瓷耐等離子性超強(qiáng)且超級(jí)耐用而可應(yīng)對(duì)高功率工程，因而用來(lái)制作半 導(dǎo)體設(shè)備零部件，廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)業(yè)各領(lǐng)域，例如ESC用母材、微波傳導(dǎo)部件、腔室件、以及絕緣件。

高純氧化鋁陶瓷?99.6% 以上高純度氧化鋁陶瓷相比其他金屬及塑料等原材料對(duì)化學(xué)侵襲具有高抵抗性，同時(shí)還具有結(jié)構(gòu)致密且硬度高而極為耐磨的特性。高純度氧化鋁陶瓷具有良好的剛性和耐磨性，可用于晶圓拋光；即使長(zhǎng)期使用，仍可保持良好的表面形態(tài)。高純度 Al2O3 陶瓷還具有高溫下電絕緣性以及可耐1,600~1,700°C高溫的耐熱性。正因上述特性，作為在高溫真空等離子環(huán)境運(yùn)行的蝕刻機(jī)工程等所使用消耗性零部件核心原材料廣泛使用。

抗等離子體侵蝕陶瓷?能夠在高溫、高壓等極端環(huán)境下抵抗等離子體侵蝕的陶瓷材料。它主要由氧化鋯、氧化釔和其他添加劑組成，具有高溫穩(wěn)定性、高強(qiáng)度、低熱膨脹系數(shù)等特點(diǎn)，因此在航空航天、核能等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。與常規(guī)的氧化鋁陶瓷相比，稀土氧化物Y2O3具有更為優(yōu)異的抗等離子體侵蝕性能，是理想的刻蝕腔體材料。YAG陶瓷是Y2O3-Al2O3復(fù)合氧化物陶瓷的簡(jiǎn)稱，兼顧Al2O3 陶瓷良好的力學(xué)和熱學(xué)性能以及Y2O3陶瓷卓越的抗等離子體侵蝕性能，能夠?yàn)榭蛻魝€(gè)性化定制。

噴涂用氧化釔末粉?氧化釔粉末作為一種高性能的噴涂材料，在各個(gè)行業(yè)中廣泛應(yīng)用。滬硅精密陶瓷科技致力于為客戶提供優(yōu)質(zhì)的氧化釔粉末材料和專業(yè)的技術(shù)支持。氧化釔粉末具有以下卓越特性：- 高溫穩(wěn)定性: 氧化釔粉末能夠在高溫環(huán)境下保持穩(wěn)定性，不易熔化或氧化，適用于高溫噴涂應(yīng)用。- 耐腐蝕性: 氧化釔粉末對(duì)酸堿等腐蝕性介質(zhì)具有優(yōu)異的抗腐蝕性能，可在惡劣環(huán)境中長(zhǎng)期使用。- 優(yōu)異的絕緣性: 氧化釔粉末具有良好的絕緣性能，可用于電子元件的保護(hù)涂層。- 高硬度和耐磨性: 氧化釔粉末具有出色的硬度和耐磨性，可增強(qiáng)噴涂材料的耐磨性能。

產(chǎn)品圖譜：

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