摘要:
AMB(Active Metal Brazing,活性金屬釬焊)工藝技術是DBC(Direct Bond Copper,直接覆銅)工藝技術的進一步發(fā)展,是利用釬料中含有的少量活性元素Ti、Zr與陶瓷反應生成能被液態(tài)釬料潤濕的反應層,從而實現(xiàn)陶瓷與金屬接合的一種方法。AMB工藝制程與DBC工藝制程總體一致,區(qū)別主要在銅箔清洗后設置了焊料印刷/焊片貼附工序且在蝕刻去膜時設置了焊料蝕刻工序。AMB采用真空釬焊爐進行燒結,DBC采用燒結爐進行燒結,目前國產(chǎn)設備可滿足要求。AMB 最核心的是焊料, 國內(nèi)企業(yè)如亞通新材、海外華昇、華光新材有進行開發(fā),AMB陶瓷基板企業(yè)(如博敏電子)也有自研焊料配方。對比DBC,AMB陶瓷基板的銅和瓷片間鍵合得更緊密,具有更好的導熱性、耐熱性,強度更高、可靠性更高,此外,AMB優(yōu)先采用氮化硅陶瓷基片作為基板,與第三代半導體襯底SiC晶體材料的熱膨脹系數(shù)更為接近,匹配更穩(wěn)定,是第三代半導體功率器件的首選。全球 AMB 陶瓷基板制造企業(yè)不多,國內(nèi)真正具備規(guī)模化產(chǎn)能的公司也只有少數(shù)幾家,主要依賴進口。隨著第三代半導體的崛起與應用,AMB陶瓷基板市場前景廣闊,也促進了國內(nèi)AMB基板產(chǎn)業(yè)鏈快速發(fā)展,融資活躍。
2021-2023年AMB活性金屬釬焊陶瓷基板融資及項目相關企業(yè)匯總如下:
序號 相關行業(yè)企業(yè)
1 博敏電子
2 富樂華
3 賀利氏
4 華清電子
5 江豐同芯
6 威斯派爾
7 匯德電子
8 蘇州玖凌光宇
9 北京漠石
10 西人馬聯(lián)合測控(泉州)
11 浙江亞通新材料
12 江蘇富樂華半導體
13 大連海外華昇電子
14 南通威斯派爾半導體
15 深圳市芯舟電子
16 廣州先藝電子
17 合肥圣達電子
18 福建華清電子材料
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1.2021-2023年AMB陶瓷基板相關企業(yè)融資及項目情況
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